高精度气体质量流量计专门用于气体流量的高精度测量，采用业内先进流量传感芯片，结合航空铝材抛光气体流道设计，配合公司核心的标定和补偿算法，实现对各类清洁、干燥气体的高精度流量测量。该产品典型测量精度为±1.5%，量程比优于500:1，并配有液晶显示、数字输出，方便用户现场和远程调试。该产品成本低、易安装、不需要额外温度和压力补偿。
它由质量流量传感器、热式原件、质量流量控制器调节阀和放大电路组成，它利用流动的流体传递热量改变测量毛细管温度分布的热传导分布效应而制成，其原理是采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
产品特点：
1、自带动态温度和压力补偿；
2、量程比优于500:1；
3、搭配工业级液晶显示屏；
4、集成度高、体积小巧；
5、动态范围大；
6、全量程输出稳定性高、重复性好、精度高。
高精度气体质量流量计准确可靠的测量和控制气体质量流量，测量和控制精度高、零飘小，测量和控制范围宽，测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响，广泛的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域。
