气体质量流量控制器是一种用于精确控制气体流量的设备，它是在工业生产过程中广泛使用的一种技术。它们的优点在于可以实现高精度流量控制、不受温度和压力的影响以及易于维护等特点，是工业生产中不可缺的一种技术。广泛应用于气体分析、气体输送、气体分离和气体混合等领域的高精度气体流量控制设备。
基本原理：
是依靠测量气体的质量流量来实现流量控制。在测量气体质量的过程中，气体量不受温度和压力的影响，因此，在流量控制时，不必像传统流量控制器那样需要使用温度和压力补偿。该控制器主要通过传感器检测气体质量流量，并通过调整阀门的开度来达到预设的流量值。传感器通常采用热偶或热膜技术，它们通过将气体加热来测量气体质量流量。
根据工作原理和结构形式的不同，可分为热式和惯性式两种类型：
1、热式：采用热偶或热膜技术，通过将气体加热来测量气体质量流量。当气体通过流量控制器时，热偶或热膜的温度变化将被转换成电信号，然后控制器将根据这些信号来自动调整阀门的开度。
2、惯性式：工作原理是基于质量不变的原理，它通过测量气体的惯性力来实现流量控制。当气体通过流量控制器时，它将产生一个惯性力，这个惯性力可以测量出来，并送入控制器进行处理，最终通过控制阀门的开度来实现流量控制。
典型应用：
1、气体输送：气体质量流量控制器可在气体输送过程中保持流量恒定。它们通常应用于气体发生器、气体分离和纯化过程等。
2、气体分析：在气体分析过程中，控制器非常重要，它们通常用于校准、调整和控制气体采样器的流量。
3、气体分离和纯化：控制器在气体分离和纯化过程中通常被用来调整不同气体流量的比例。
4、气体混合：在气体混合过程中，控制器通过控制不同气体的流量，实现精确的气体混合比例。它们通常应用于气体分装、气体瓶装填和气体钢瓶充填等方面。
