混合气体质量流量计是一种精确测量气体流量的仪表，用于对于气体的质量流量进行精密丈量和控制；具有质量流量计的功能，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。而质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机连接自动控制的气体稳流装置。
气体质量流量计(MassFlowMeter缩写为MFM)用于对于气体的质量流量进行精密丈量。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管丈量景象形象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工，冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。
混合气体质量流量计是一个较为准确、快速、可靠、高效、稳定、灵活的流量测量仪表，在石油加工、化工等领域将得到更加广泛的应用。此外，质量流量计是采用感热式测量，通过分体分子带走的分子质量多少从而来测量流量，因为是用感热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果。
工作原理：
它是利用科里奥利原理，即利用测量管下半部分振动频率相位差正比于质量流量以测量流量，利用测量管谐振频率与管中被测介质密度间的函数关系求取密度，从此两个基本参数质量流量qm和密度ρ衍生得出体积流量qv(=qm/e),若被测液体是两种有一定密度差相溶或不相溶混合液体，经密度演算得出一种液体在混合液中的浓度，如油甲油水混合液的含水率，在测量液固双相流中可测出含固率。
由原理可知质量流量计在流量计量行业一般是把可以不通过其他参数补偿而直接测量流体介质质量流量的。其显著的特点就是可以直接测得介质的质量流量，而不受介质工作状态的压力、温度等因素的影响。
