气体质量流量控制器是一种精确测量气体流量的仪表，是现代电子设备工艺气体流量控制的不可少的控制单元，它的原理和应用质量流量控制器用于对各种气体的质量流量进行精密测量和控制，大量用于电子工艺设备(如扩散、氧化、外延、CVD.等离子刻蚀、溅射等)以及镀膜设备、光导纤维制造中。它通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制器和分流器通道等组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源盒提供。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量流过气体的质量流量，具有温度、压力囱动补...

1：流量术语体积流量：也叫工况流量，即单位时间内实时温度和压力下流体流过管道横截面的体积。小流量的代表单位一般为：ml/min和L/min。标况流量：通过温度、压力补偿后得到的体积流量。标况一般定义（1）压力：1个大气压（101.325KPa）（2）温度：0℃/15℃/20℃/25℃，具体温度定义可自选。易度流量控制器默认(25℃,101.325KPa)，单位一般为：SCCM和SLPM。质量流量：单位时间内流体流过管道横截面的质量。易度质量流量控制器测量出的是标况流量，需要计...

气体质量流量计与质量流量控制器是指主要适用小微流量（从0.000001m³/小时到300m³/小时，对应管径从直径3mm到65mm）气体测量和控制的传感器和自动化设备。按原理分类主要有两种：1、层流压差原理的气体质量流量计与质量流量控制器；2、热式原理的气体质量流量计与气体质量流量控制器。层流压差原理图层流压差原理的质量流量计和流量控制器，因其原理特点，只需检测到气体压差、压力和温度，即可测控气体流量。易度自主设计的传感器可检测到极微小流量下产生的压力、压差，因此易度质量流量...

层流压差流量计是测控气体流量的仪表，是计量气体流量的计量器具。质量流量计(MFM)和控制器(MFC)使用前需要预热，这是热式原理MFM/FMC产品的一个特点。为什么呢？这是由热式原理测量方式所决定，其产品流道内需另外开一旁通微小的管道，通常叫毛细管，通过把毛细管加热到一定温度，再通过一定的公式来计算流量。刚开机的热式产品因为毛细管温度还未达到正常测量时需求的温度，所以需要在管道通气后先加热到预定温度，才可以准确测量，这个加热的过程就是预热的过程，时间通常为5~30分钟不等。从...

气体质量流量计的安装发现还是有很多人不知道如何去进行安装，今天就给大家讲一讲气体质量流量计该如何进行正确的安装吧气体质量流量计的安装如下：1、传感器应安装在于管道同一轴线上，且无应力地装在刚性、被牢固支撑的管道系统上，密封垫片不应突入管道内，并避免与毗邻管道和安装构架发生共振应在气体质量流量计传感器附近做支撑或卡子，决不能用传感器来支撑管道，这样可消除震动或噪声，减少误差为方便维修检查，应尽量设置旁路，旁路阀门不应泄漏。2、流量调节阀应安装在传感器的下游，安装地点应远离大的变...

极微小流量控制器的特点是灵敏度高、一致性强、性能稳定、精度高，标准的精度误差为±3%（即100毫升里的误差在上下3毫升）定制精度在±2%。小型流量计分为霍尔式和光电式两种，霍尔流量计是由霍尔元件、磁铁组成的；光电流量计是利用光学原理检测，内部不含磁铁。需要注意的是：这两种流量计内部都有叶轮，所以不适合检测啤酒、气泡水类的液体，因为当液体进入流量计内部时，叶轮转动会产生很多气泡，导致流量计精度降低。其原理如下：在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将...

多过程参数测量流量计采用多参数测量技术，一台仪表可代替差压，压力，流量，积算仪四台仪表，节省客户采购、安装成本。一体化流量计采用全参数动态补偿技术，提高仪表精度量程比；满量程静压补偿技术，提高节流装置运行精度；可与节流一体化标定，标定精度优于分体式精度；功能方面专用化，集成化。流量计是工业生产的眼睛，与国民经济、国防建设、科学研究有着密切的关系，在国民经济中占据重要地位与作用，可用于气体、液体、蒸汽等介质流量的测量。工作原理：流体充满管道，流经管道内的节流装置时，流束会出现局...

质量流量计1什么是质量流量计：质量流量计，英文MassFlowMeter（简称MFM），用来快速、精确测量过程气体流量大小的精密传感器。这里讲的质量流量计主要应用于低压、小流量的单一或混合气体，低压一般在1Mpa以下，最大可达3Mpa；流量范围一般为：0.1sccm-5000slpm；单一气体如常见的空气、氦气、氩气等，要求相对干燥、纯净；混合气体则需明确气体种类和比例。2质量流量计可获得哪些参数：易度质量流流量计可精确获得气体的实时温度、压力、工况流量、标况流量和累计流量五...