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质量流量控制器应该先通气还是先设流量?

更新时间:2023-12-05      点击次数:199

客户在使用易度气体流量控制器(MFC)时反映有这样的问题:刚通气时流量会瞬间达到可测量的最大值并显示告警信息,然后又迅速稳定到设定值,客户觉得易度MFC有很严重的超调过冲问题。经过与客户详细交流后发现,客户是先将MFC设定流量,再开启截止阀给管路通气。MFC在使用过程中到底应该先通气还是先设流量呢?

图片1.png 

图:常见MFC连接方式

我们先来看MFC的工作原理。

MFC通过流量测量部分测量气体流量,并根据测量值发出反馈信号调节阀门开口大小,达到控制流量的目的。当测量的流量小于设定流量时,就会增加阀门开口度,让气体流量增加,反之亦然。

图片2.png

图:MFC工作示意简图

了解了MFC的工作原理,再来看客户遇到的问题就容易理解了。

在不通气的情况下,将MFC设定流量后,流量传感器检测流量为零,小于设定值,于是微处理器发出信号将阀门开大,再检测流量,发现流量仍然是零,仍然小于设定值。微处理器只能继续发出控制信号直到将阀门开到最大并保持这个状态。这时打开截止阀,气体瞬间开始流动起来,而此时阀门开到了最大,气体就会以一个很大的流量值流过MFC。MFC检测到流量超过了设定值,于是控制阀门开口度减小,将实际流量稳定在设定值。这就是先设流量再通气时MFC的实际工作过程。

这并不是MFC本身的问题,而是在使用MFC时的操作顺序问题。正确的操作顺序是先通气,再设流量。

先通气时,由于易度MFC是自主研发的阀门,具有截止能力,能够将阀门关闭,因此并不会有流量产生。这时设定流量,MFC打开阀门,将流量从零迅速调整到设定值,达到精确控制流量的目的。