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诚信经营质量保障价格实惠服务完善客户在使用易度微流量的流量计时反馈了一些问题:明明气源已经关闭了,流量计仍然有读数;在做气密性测试时旁路充气关闭后读数长时间不能稳定下来。为什么会出现这种情况呢?
易度标准款流量计最小量有满量程0.5SCCM的流量计,最小可以测到0.005SCCM的流量,甚至还能定制更小流量的型号。这样精密的仪器有时候在系统中的表现并不是很好,很大一部分原因就是没有充分考虑容积效应带来的影响。
什么是容积效应?
我们都知道气体是热胀冷缩的。一定量的气体,温度变化后,随之也会引起压力或者体积的变化,这就是容积效应(也叫容升效应)。一般情况下,这并不会给气体测量带来什么影响,而且易度流量计本身就集成有高灵敏的温度传感器,可以通过温度补偿获得准确的标况流量,但是在测极小流量的时候,气体容积效应的影响就被放大了。
假如一台0.5SCCM的流量计后端管路内径是6mm,长度1m,那么这段管路容积大约有113mL,假如整个系统处于标况下(101.325kPa、25℃),此时后端管路温度下降0.1℃,根据理想气体状态方程,压力会变成101.291kPa,流量计要达到前后端压力平衡需要流过0.038mL体积的气体,而此时前后压差很小(不足40Pa),流量也会很小,(大约0.005~0.01SCCM),流过0.038mL的气体足足需要4~8分钟!而这仅仅是这段细小的管路温度变化了0.1℃引起的!
我们该怎样减小容积效应的影响呢?
如果客户选择小微流量的流量计,说明测量的流量基本上就是微升量级的,对系统的要求也就很高了。一是相应的管路设计标准也得提高,尽量使管路更细更短、减少阀件数量,使管路容积更小;二是气源要稳定,对于小微流量的流量计来说,气源的少许波动就会引起流量很大的变化;三是环境温度尽量保持恒定,通过封闭、隔离、水浴等方式减小系统温度变化。
话说,一段细小的管路温度变化0.1℃是个什么概念呢?嗯…大约就是你的身体靠近管路(不接触)一会儿就能引起的。