你了解管路的容积效应吗？

客户在使用易度微流量的流量计时反馈了一些问题：明明气源已经关闭了，流量计仍然有读数；在做气密性测试时旁路充气关闭后读数长时间不能稳定下来。为什么会出现这种情况呢？

易度标准款流量计最小量有满量程0.5SCCM的流量计，最小可以测到0.005SCCM的流量，甚至还能定制更小流量的型号。这样精密的仪器有时候在系统中的表现并不是很好，很大一部分原因就是没有充分考虑容积效应带来的影响。

什么是容积效应？

我们都知道气体是热胀冷缩的。一定量的气体，温度变化后，随之也会引起压力或者体积的变化，这就是容积效应（也叫容升效应）。一般情况下，这并不会给气体测量带来什么影响，而且易度流量计本身就集成有高灵敏的温度传感器，可以通过温度补偿获得准确的标况流量，但是在测极小流量的时候，气体容积效应的影响就被放大了。

假如一台0.5SCCM的流量计后端管路内径是6mm，长度1m，那么这段管路容积大约有113mL,假如整个系统处于标况下（101.325kPa、25℃），此时后端管路温度下降0.1℃，根据理想气体状态方程，压力会变成101.291kPa，流量计要达到前后端压力平衡需要流过0.038mL体积的气体，而此时前后压差很小（不足40Pa），流量也会很小，（大约0.005~0.01SCCM），流过0.038mL的气体足足需要4~8分钟！而这仅仅是这段细小的管路温度变化了0.1℃引起的！ 

我们该怎样减小容积效应的影响呢？

如果客户选择小微流量的流量计，说明测量的流量基本上就是微升量级的，对系统的要求也就很高了。一是相应的管路设计标准也得提高，尽量使管路更细更短、减少阀件数量，使管路容积更小；二是气源要稳定，对于小微流量的流量计来说，气源的少许波动就会引起流量很大的变化；三是环境温度尽量保持恒定，通过封闭、隔离、水浴等方式减小系统温度变化。

话说，一段细小的管路温度变化0.1℃是个什么概念呢？嗯…大约就是你的身体靠近管路（不接触）一会儿就能引起的。