极微小流量控制器是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。它由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的气体质量流量(无需温度压力补偿)。
不但具有气体质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
工作原理：
极微小流量控制器将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与气体质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源，数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。
主要功能特点：
1、采用采集传感器信号，实现高精度和高稳定性；
2、内置完善的抗扰器件配合多级保护电路，保证了现场的高可靠性；
3、具有完善的数据备份与恢复功能，现场免维护；
4、功能完善的现场调试，可使用中文手持器全面支持其现场调试；
5、拥有高亮度红色背光的进度条LCD显示器，显示效果美观；
6、稳定性、精度和可靠性，性能优异。
