气体质量流量控制器是一种精确测量气体流量的仪表，是现代电子设备工艺气体流量控制的不可少的控制单元，它的原理和应用质量流量控制器用于对各种气体的质量流量进行精密测量和控制，大量用于电子工艺设备(如扩散、氧化、外延、CVD.等离子刻蚀、溅射等)以及镀膜设备、光导纤维制造中。
它通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制器和分流器通道等组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源盒提供。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量流过气体的质量流量，具有温度、压力囱动补偿特性。
技术特点：
1、耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。
2、主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。线路板、阀体、弹簧片、精密电阻和resistor等为重要零部件，均执行严格的入厂标准。
3、气体质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。
4、可任意位置安装。电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。☆配合MT-60系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。
应用领域：
生务技术、制要行业；
气体泄露检测系统；
食品、化学、石化等行业气体流量监控；
燃料电池、环宝设备；
光纤、玻璃、表面处理设备；
LED照明、金属加工；
精密气体混合与分析；
大学、实验室、研发机构和研发设备；
半导体、太阳能、光伏制造业。
