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气体质量流量控制器在配气仪、动态校准仪中的应用

时间:2025-04-07      点击次数:184

气体质量流量控制器是配气仪中的核心部件,可提供精确、稳定的气体流量控制,让气体混合、稀释更便捷。

易度MC系列质量流量控制器(新款EC系列)采用层流压差式原理,具有高可靠、高稳定、高精度和高重复性的优势,同时在抗过载能力和抗污染能力上表现良好,助力配气仪厂商实现更精准的气体浓度混合配比。

 

应用要求:

配气仪的气体配比通常为100:1等,常见的有两路甚至更多,一般两路为一路标气,一路稀释气体。要实现精准配气,需要流量控制器在各流量点控制气体准确度高,重复性好,同时对压力波动不敏感。


主要问题:

1、控制稳定:配气仪受前端压力波动影响大,影响流量稳定性,要求流量控制器具有高稳定性,减少压力波动影响;

2、无漏气:要求流量控制器内置的比例调节阀流量为零时,要处于常闭状态,阀门不漏气,无流量;

3、抗污染能力:配气仪介质用到腐蚀性气体,造成流量控制器流道易堵塞,堵塞与流道管径的粗细直接相关;

4、抗过载能力:配气仪控制气体从低流量点切换到高流量点时,受到瞬间大流量冲击,抗过载能力弱会直接影响流量控制器的使用寿命。

 

解决方案:

1、高稳定性:易度流量控制器内置高精度压力、温度传感器,可进行温度、压力的实时补偿,700ms的快速响应时间,快速纠正、保持气体控制的流速恒定,提供稳定的气体流量控制;

2、无漏气:易度流量控制器内置的比例调节阀系自主研发,结构紧凑,密封性好,不漏气,无流量;

3、抗污染能力强:易度流量控制器气体流道为单通道设计,流道管径相对较粗,不易受到气体的污染,造成堵塞;

4、抗过载能力高:易度流量控制器内置的压差传感器,可承受50倍及以上的过载流量,抗过载能力强,解决配气仪低流量段瞬间过载问题。


多组分混合标准气体是环保行业实现监测设备多点标定的重要工具,以质量流量控制器为配气部件的动态校准仪(或动态气体稀释装置等),利用高浓度标气和零气,通过对各气路气体流量的精确控制,实现多浓度点气体的连续、稳定配制,并以低成本、智能检测、自动配气、不受使用环境温度和压力影响等优势被广泛应用。

动态校准仪.png


质量流量控制器在动态配气仪中起着重要作用。稳定、高重复的标气和零气精准流量控制,可提升动态校准仪高精度、连续、稳定输出浓度。

客户应用背景:作为动态校准仪的研发生产商,对流量控制器的现场表现有多方面的实际需求。气体流量控制器的重复性和可靠性、微小的漏气、不同温度压力下的精度保持能力等问题,最终会对客户造成不同程度的困扰。提高动态校准仪的精度和稳定性,减少最终用户的长期使用和维护成本,成为发展和技术进步的方向。

关键关注点:

动态校准仪简化原理框图(自制图片,不代表真实原理结构)

标气零气.png


➢ 高重复性的配气

➢ 对温度和压力漂移,环境适应性好

➢ 对前端压力波动不敏感

➢ 宽量程精度保持能力(例如20%~100%或10%~100%量程范围内达到±1%S.P.)

➢ 高可靠,长期精度不漂移,控制稳定性好

➢ 要求对低浓度的NH3/SO2/CO等气体有较好的抗污染能力

解决方案:

为提高动态校准仪连续稳定的输出浓度,易度提供了MCF100系列层流压差式质量流量控制器作为标准配气元件,选用阀门后置型产品,可监测前端气体压力,并选取了几种不同的量程,典型气体流量为100SCCM和10SLPM的质量流量控制器,精度为±1.0% S.P.。

➢ 内置的比例调节阀和流量传感器具有高分辨率和稳定性

➢ 内置的绝压和温度传感器,具有-20~50℃,0~1MPa的宽环境适应性

➢ 层流压差式流量控制器具有极快的反馈控制速度,对前端压力不敏感

➢ 层流压差式流量控制器具有宽量程精度保持能力的原理性优势

➢ 层流压差式原理,高性能压力、压差传感器和比例阀门是长期可靠性的基石

➢ 自研的压力和压差传感器对低浓度腐蚀性气体不敏感,有较好的抗污染能力

易度流量控制器采用层流压差式原理,在气体流量控制的精度和重复性上有明显的优势,100:1的量程比(可定制更高量程比),在小流量段也能实现毫秒级快速控制。比例调节阀在设计中充分考虑密封性和内漏问题,将客户的关键关注点解决,帮助客户将动态配气仪提升到更高品质和更优性能。