气体质量流量控制器在配气仪、动态校准仪中的应用

时间：2025-04-07 点击次数：194

气体质量流量控制器是配气仪中的核心部件，可提供精确、稳定的气体流量控制，让气体混合、稀释更便捷。

易度MC系列质量流量控制器（新款EC系列）采用层流压差式原理，具有高可靠、高稳定、高精度和高重复性的优势，同时在抗过载能力和抗污染能力上表现良好，助力配气仪厂商实现更精准的气体浓度混合配比。

应用要求：

配气仪的气体配比通常为100:1等，常见的有两路甚至更多，一般两路为一路标气，一路稀释气体。要实现精准配气，需要流量控制器在各流量点控制气体准确度高，重复性好，同时对压力波动不敏感。

主要问题：

1、控制稳定：配气仪受前端压力波动影响大，影响流量稳定性，要求流量控制器具有高稳定性，减少压力波动影响；

2、无漏气：要求流量控制器内置的比例调节阀流量为零时，要处于常闭状态，阀门不漏气，无流量；

3、抗污染能力：配气仪介质用到腐蚀性气体，造成流量控制器流道易堵塞，堵塞与流道管径的粗细直接相关；

4、抗过载能力：配气仪控制气体从低流量点切换到高流量点时，受到瞬间大流量冲击，抗过载能力弱会直接影响流量控制器的使用寿命。

解决方案：

1、高稳定性：易度流量控制器内置高精度压力、温度传感器,可进行温度、压力的实时补偿，700ms的快速响应时间，快速纠正、保持气体控制的流速恒定，提供稳定的气体流量控制；

2、无漏气：易度流量控制器内置的比例调节阀系自主研发，结构紧凑，密封性好，不漏气，无流量；

3、抗污染能力强：易度流量控制器气体流道为单通道设计，流道管径相对较粗，不易受到气体的污染，造成堵塞；

4、抗过载能力高：易度流量控制器内置的压差传感器，可承受50倍及以上的过载流量，抗过载能力强，解决配气仪低流量段瞬间过载问题。

多组分混合标准气体是环保行业实现监测设备多点标定的重要工具，以质量流量控制器为配气部件的动态校准仪(或动态气体稀释装置等)，利用高浓度标气和零气，通过对各气路气体流量的精确控制，实现多浓度点气体的连续、稳定配制，并以低成本、智能检测、自动配气、不受使用环境温度和压力影响等优势被广泛应用。

动态校准仪.png

质量流量控制器在动态配气仪中起着重要作用。稳定、高重复的标气和零气精准流量控制，可提升动态校准仪高精度、连续、稳定输出浓度。

客户应用背景：作为动态校准仪的研发生产商，对流量控制器的现场表现有多方面的实际需求。气体流量控制器的重复性和可靠性、微小的漏气、不同温度压力下的精度保持能力等问题，最终会对客户造成不同程度的困扰。提高动态校准仪的精度和稳定性，减少最终用户的长期使用和维护成本，成为发展和技术进步的方向。

关键关注点：

动态校准仪简化原理框图（自制图片，不代表真实原理结构）

标气零气.png

➢ 高重复性的配气

➢ 对温度和压力漂移，环境适应性好

➢ 对前端压力波动不敏感

➢ 宽量程精度保持能力（例如20%~100%或10%~100%量程范围内达到±1%S.P.）

➢ 高可靠，长期精度不漂移，控制稳定性好

➢ 要求对低浓度的NH3/SO2/CO等气体有较好的抗污染能力

解决方案：

为提高动态校准仪连续稳定的输出浓度，易度提供了MCF100系列层流压差式质量流量控制器作为标准配气元件，选用阀门后置型产品，可监测前端气体压力，并选取了几种不同的量程，典型气体流量为100SCCM和10SLPM的质量流量控制器，精度为±1.0% S.P.。

➢ 内置的比例调节阀和流量传感器具有高分辨率和稳定性

➢ 内置的绝压和温度传感器，具有-20~50℃，0~1MPa的宽环境适应性

➢ 层流压差式流量控制器具有极快的反馈控制速度，对前端压力不敏感

➢ 层流压差式流量控制器具有宽量程精度保持能力的原理性优势

➢ 层流压差式原理，高性能压力、压差传感器和比例阀门是长期可靠性的基石

➢ 自研的压力和压差传感器对低浓度腐蚀性气体不敏感，有较好的抗污染能力

易度流量控制器采用层流压差式原理，在气体流量控制的精度和重复性上有明显的优势，100:1的量程比（可定制更高量程比），在小流量段也能实现毫秒级快速控制。比例调节阀在设计中充分考虑密封性和内漏问题，将客户的关键关注点解决，帮助客户将动态配气仪提升到更高品质和更优性能。