防爆型气体质量流量控制器的特点

层流压差式防爆型的质量流量控制器的工艺结构及特点

耐腐蚀材料与密封优化

材料选择：采用316L不锈钢流道，其低碳含量与钼元素增强了抗点蚀和晶间腐蚀能力，适用于Cl⁻、H₂S等腐蚀性介质环境。

密封技术：关键密封点使用FFKM全氟醚橡胶或PTFE材质，耐受强酸、强碱及有机溶剂，漏率控制在1×10⁻10 Pa·m³/s以下，避免介质泄漏导致的部件失效。

层流元件与传感技术

层流元件：强制流体进入雷诺数Re<2000的层流状态，通过哈根-泊肃叶定律实现流量计算。

双通道压差传感：结合温度补偿模块修正粘度变化误差，典型精度可达±0.5%读数精度重复性达±0.1%满量程精度。

模块化与智能集成

通讯接口：支持RS485、4-20mA、0-5V等多种信号输出，便于集成到自动化系统。

触屏操作与数据管理：配备触控屏实现气体介质切换、混合比例调整，并提供上位机软件实时监控与数据下载。

环境适应性与耐用性

宽温宽压设计：工作温度范围-20℃~60℃，耐压达2.5MPa，适用于苛刻的工业环境。

抗电磁干扰：金属外壳设计提升抗干扰能力，确保复杂环境下的稳定性。

易度智能的层流压差式产品及技术优势

核心产品系列

EC标准型：量程0.5sccm~5000SLPM，精度±1.0%读数，内置70+种气体参数，支持任意角度安装，适用于实验室与工业场景。

EC高精型：精度提升至±0.5%，耐压1.5MPa，内置70多种气体，适用于半导体工艺与新能源电池电解液灌装。

P300便携式：配备充电电池，续航15小时，支持无电源环境下的户外测量，响应时间<0.1秒。

技术创新与性能亮点

算法补偿：通过压力、温度传感器的实时补偿，降低漂移量（如零点漂移<0.1%FS），提升长期稳定性。

多气体兼容：支持70余种气体及混合气体测量，用户可自定义气体参数，扩展应用场景。

快速响应：部分型号响应时间<0.2秒，满足半导体薄膜沉积、燃料电池测试等快速控制需求。

应用领域

半导体制造：精准控制蚀刻气体（如Cl₂、SF₆）流量，适配5nm以下制程要求。

新能源与环保：用于氢氧燃料电池动态配比、烟气脱硫系统监测及锂电电解液灌装。

生物制药：满足无菌环境下笑氧混合气体的亚秒级响应控制需求。

三、易度智能的认证资质与行业地位

国内认证与标准参与

通过中国计量科学研究院认证，是国内唯—通过该认证的层流质量流量计制造商。

参与编撰《流量测量技术全书》及制定《层流流量计型评大纲》《层流流量计检定规程》等国家标准。

国际认可与市场布局

产品销往欧洲、北美、东南亚等地区，技术指标对标国际品牌，量程覆盖0.1SCCM~20000SLPM，耐压达2.5MPa。

行业影响力

作为国内第—家具备通用型层流流量计量产能力的企业，技术积累深厚，产品应用于西北工业大学等科研机构及多家世界500强企业。

总结

层流压差式质量流量控制器的改进重点在于材料耐腐蚀性、传感精度及环境适应性，而易度智能凭借自主研发的算法补偿技术、多气体兼容性及模块化设计，在半导体、新能源等领域展现了显著竞争力。其产品通过认证并参与行业标准制定，技术指标接近甚至超过国际水平。