一、易度智能EC400系列核心优势
高精度与高重复性
精度:±0.5%设定值精度,满足半导体、生物制药等领域对流量控制的严苛要求。
重复性:±0.1%F.S.,确保长期使用中数据稳定性,减少校准频率。
响应时间:<100ms,快速响应流量变化,适用于动态工艺控制。
宽温度与压力范围
介质温度:-20℃~60℃,适应低温制冷或高温加热场景。
环境温度:-20℃~50℃,覆盖工业现场复杂环境。
工作压力:0~1MPa,耐压1.5MPa,支持高压气体输送系统。
多气体兼容性
内置70+种气体数据库,包括N₂、O₂、Ar、H₂等常见气体,支持混合气体编辑,无需额外标定。
适用于多组分气体配比、化学反应气体控制等场景。
抗干扰与耐用性
金属外壳:强抗电磁干扰,适应电力、冶金等强干扰环境。
密封材质:氟橡胶密封,耐腐蚀、耐高温,延长使用寿命。
二、技术突破
层流压差原理
相比传统热式流量计,层流压差技术受温度、压力影响更小,零点漂移量低,长期稳定性更优。
核心算法补偿压力、温度变化,确保全量程范围内精度一致。
智能化功能
数字通讯:标配RS485,支持Modbus协议,可接入PLC、DCS系统。
模拟信号:选配4-20mA或0-5V输出,兼容传统仪表。
上位机软件:实时显示流量、温度、压力等参数,支持数据下载与历史追溯。
便捷操作
触屏操作(部分型号):S200系列配备触摸屏,无需电脑即可读取数据、切换气体类型。
即插即用:无需预热时间,开机后快速进入工作状态。
三、应用场景
半导体制造
用于光刻机、刻蚀机等设备的气体流量控制,确保工艺稳定性。
替代进口品牌(如美国Brooks、日本HORIBA),降低成本30%~50%。
生物医药
在生物反应器、发酵罐中精确控制氧气、二氧化碳流量,提升细胞培养效率。
符合GMP标准,支持无菌环境使用。
新能源与环保
氢能燃料电池测试中控制氢气、空气流量,优化电堆性能。
废气处理系统监测气体流量,确保达标排放。
精细化工
在催化剂评价、气体反应装置中实现微量气体精准配比,提高产品收率。
四、性价比对比
指标 | EC400系列 | 进口品牌(如Brooks、HORIBA) |
价格 | ¥8,550~15,000 | ¥20,000~50,000 |
交货周期 | 2~4周 | 8~12周 |
售后服务 | 本地化团队,24小时响应 | 海外支持,时差与语言障碍 |
定制能力 | 支持非标工况定制 | 标准化产品为主 |