气体质量流量控制器（MFC）是精准调控气体流量的核心部件，广泛应用于半导体、化工、实验室等领域。其内部节流孔、传感器及阀组对杂质极为敏感，积尘、油污或化学残留会导致流量漂移、控制精度下降，甚至设备报废。科学的清洁流程是保障其稳定运行的关键，需遵循“精准拆检-分级清洁-校验复位”的核心逻辑，兼顾安全性与专业性。
一、清洁前准备：安全与工具双保障
清洁前需筑牢安全防线并备齐专用工具。首先关闭MFC前后端阀门，泄压至常压后断开电源与气路连接，张贴“检修中”标识避免误操作。若此前通入腐蚀性或有毒气体，需用氮气（纯度≥99.99%）吹扫气路3-5分钟，消除残留风险。工具方面，准备无绒布、专用清洁棉签（不掉屑）、无水乙醇（分析纯）、异丙醇及精密镊子，严禁使用普通棉签或化纤布料，防止纤维残留堵塞节流孔。同时准备校准用标准气体（如氮气），为清洁后校验做准备。
二、核心部件清洁：分级处理精准除污
按部件敏感度分级清洁，重点关注节流孔、传感器与阀座。1.节流孔（直径通常＜0.5mm）：用蘸取异丙醇的专用棉签轻轻擦拭孔口，避免用力过猛导致孔径变形；若有顽固杂质，用氮气设备以0.1MPa压力反向吹扫，禁止使用金属工具疏通。2.热式传感器：用无绒布蘸无水乙醇快速擦拭传感器表面，去除油污与积尘，擦拭后静置5分钟待乙醇挥发，防止短路。3.阀组与气路接口：用蘸取异丙醇的无绒布清洁密封面与螺纹，去除老化密封脂，清洁后涂抹薄层专用高温密封脂（如聚四氟乙烯基），避免密封失效。
三、清洁后校验：确保性能恢复达标
清洁后组装复位，需通过三重校验确认性能。1.密封性测试：通入0.3MPa氮气，关闭出口阀门，30分钟内压力下降≤0.01MPa为合格，否则检查密封面是否清洁到位。2.流量精度校验：在常用流量点（如满量程的20%、50%、80%）通入标准氮气，对比MFC显示值与标准流量计读数，误差需≤±1%，超出则需重新清洁或校准。3.响应时间测试：切换流量时，观察显示值从10%升至90%的时间，应≤1秒，若响应迟缓需检查传感器清洁度。
日常防污比事后清洁更重要：建议在MFC入口安装0.1μm精密过滤器，拦截气体中杂质；每3个月对使用频繁的MFC进行一次简易清洁（仅清洁气路接口与表面），每6-12个月进行一次全面拆检清洁。对通入含尘、含油气体的MFC，需缩短清洁周期至3个月。遵循此清洁指南，可使MFC控制精度维持在出厂标准，延长使用寿命至5年以上，避免因污染导致的设备故障与实验数据偏差。
