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气体质量流量控制器【简称MFC】基于内部补偿型层流压差技术，内置压力和温度传感器，能充分补偿因温度和压力引起的体积流量和质量流量间的差异，通过精密电磁比例调节阀自动控制气体流量，从而提供更加准确和稳定的流量测量和控制。层流质量流量控制器可作为主要设备在高校科研院所和广泛的工业过程自动化控制中使用。
