层流原理流量计和控制器

易度智能层流原理流量计和控制器无需旁通毛细管预热，流量测量在一定条件下，只有压差一个变量，压差信号通过压力波传播，可从根本上抑制MFC的零漂、温漂、压漂现象，保证传感器的线性、重复性，使得产品具有具有高精度、高重复性、快速响应等优势

特征：

l 原理：层流压差式原理

l 便捷操作：可触屏点击操作、读取流量，或者提供上位机软件操作。

l 核心优势：高精度、高重复性、快速响应

l 宽温度、宽压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内

l 实时测量、显示温度、压力、流量等多过程参数

l 内置49种气体，，一键自由切换气体，无需查找、输入系数，

l 可测控混合气体，用户自主编辑设定混合气体，操作简单

l 无需预热时间，开机即可使用，即插即用。

产品规格：

l 产品型号：MFM：S系列，M系列，P系列； MFC：SC系列，MC系列

l 量程范围：0.5sccm~5000slpm

性能参数：

l 精度：±1.0%RD，±1.0%S.P.

l 重复精度：±0.2%F.S.  

l 压力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100KPa(绝压))

l 温度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度20℃）

l 工作范围：1%~120%F.S.

l 响应时间：MFM≤100ms. ； MFC≤100ms

l 启动预热时间：1s

使用条件：

l 介质温度：-20℃~60℃

l 环境温度：-20℃~50℃

l 使用湿度：0%~98%（无冷凝）

l 工作压力：0~1Mpa

l 耐压：1.5Mpa

l 供电电压：24V±20%

l 消耗电流：＜150mA （＜5V）

l 安装方式：任意角度

l 接气部材质：SUS304，SUS316L，航空铝材

l 进出口：管螺纹（内螺纹）

l 接气部密封材质：橡胶圈密封：氟橡胶

通讯方式：

l 数字信号：RS485，Profibus

l 模拟信号：4-20mA，0-5V

应用场景

l 配套流量校准平台的流量测量设备

l 实验中的气体流量测量

l 机械动力测试系统中的气体流量测量

l 材料制备实验中的中的气体流量测量

l 真空实验舱及真空试验系统中的气体流量测量

l 生物反应器实验装置中的气体流量测量

l 高精度实验仪器的研发和试制

l 分析测试仪器

易度智能层流原理流量计和控制器通用于低压气体测控领域，产品抗电磁干扰强，可靠性稳定性好，宽温度、宽压力、宽流量范围，精度高，响应速度快，性能方面远超传统流量计。基于用户不同场景，易度又开发了低高温型、低压损型、宽量程型等适用不同工况环境的产品系列，使得易度流量计和控制器可匹配应用于更复杂严苛的工况环境，助力用户解决问题。