一、定义与原理
层流压差质量流量计是基于哈根泊肃叶定律设计的流量测量仪器。该定律指出，在温度、管径等参数一定的情况下，圆管内的不可压缩流体在层流运动状态时，其体积流量与压降之间存在线性关系。通过读取层流元件两端的压差信号，可以计算出体积流量，再经过压力和温度修正后，即可获得标准体积流量和质量流量。
二、应用领域
层流压差质量流量计在高端制造业中具有广泛的应用，包括但不限于：
半导体制造：用于扩散、氧化、外延、等离子刻蚀、溅射、气相沉积等工艺设备中，测量和控制工艺气体流量。
生物科技：用于生产过程中的灭菌工艺、配料、配气、排气检测及生物反应器等流量测控。
环境分析：用于气相色谱仪和环境保护等分析仪器中，进行气体取样量或大气采集量的精密测量。
机械构件测试：用于阀门等机械构件气密性指标的气体泄漏量精密测量，以及小孔尺寸和过滤材料透气性等的测量。
微型试验装置：用于微型反映试验装置中微小气体流量的测量和控制。
表面处理：用于真空镀膜、汽车玻璃镀膜、自动化喷漆、等离子体喷涂等工艺中，对气体进行精密测量和控制。
三、优势特点
多气体任意切换：层流压差质量流量计可以实现多气体任意切换，且不需要转换系数。这是因为气体的体积流量和压差以及气体的粘性线性相关，只要知道测控气体的粘性，就能得出气体的体积流量。
响应速度快：层流压差质量流量计的响应时间非常快，关键在于层流元件两端压差信号的获取速度，这个时间取决于压力波的传播速度(压力波是声波的一种)。
高精度：由于气体的体积流量和压差是一个趋近于线性相关的关系，因此层流压差质量流量计的精度非常高。
高重复性：层流压差质量流量计的重复性取决于流态的稳定，常规环境中气体是呈湍流状态运动，而层流压差质量流量计通过层流元件让气体做层流运动，层流气体的流态稳定，因此重复性高。
无需预热：与热式质量流量计不同，层流压差质量流量计无需预热即可开始正常工作，这为用户节省了时间并提高了效率。
四、市场与发展
尽管目前热式质量流量计在市场上占有率较高，但层流压差质量流量计作为一条全新的技术路线，在部分性能上较热式质量流量计具有明显优势。随着半导体、新能源等制造业的快速发展，层流压差质量流量计的应用前景将更加广阔。同时，国内厂商也在不断努力研发和创新，以提高层流压差质量流量计的性能和降低成本，以满足更多行业的需求。
