一直以来，小微气体、液体的流量精确测量和控制被西方发达国家技术垄断，这项技术在众多制造领域，包括半导体、生物制药、新材料等都属于重要核心技术。易度仪器层流质量流量计的研发和诞生，正是由公司博士、硕士组成的高素质创业骨干，联合国内顶尖学府的专家学者等共同组成的研发团队，面对国外技术，自2011年以来恪守流体测控领域，自主创新，不懈努力的结晶。
苦心孤诣：七年研发，挑战世界水平
2011年，这个以“80后”为主力军的研发团队开始向技术发起挑战，当时国外进口的设备独步天下，相关技术也被西方发达国家所垄断，国内只有个别厂商可以生产一些模拟型产品，精度低，重复性差，根本谈不上高精尖，只能配套于低端产业，由于缺乏核心传感器技术，即便拆开了国外的设备，也会因不懂原理而难以突破。无数事实已表明：试图通过仿制产品的路线是走不通的。从研发一开始，易度团队就清醒地认识到，精密仪器属于技术密集型产品，只有通过自主创新，遵循“概念论证”——“关键技术验证”——“方案验证”——“原理样机”——“工程样机”——“产品样机”——“产品”的技术路线，才能真正掌握技术，研发出高精尖的产品。
这一技术路线耗时之长、成本之高、风险之大，与当下浮躁的社会显得格格不入。他们中很多人放弃了高薪的工作、舒适的生活，有家人的不理解，也有周围人的嘲笑。当时在微流量测量领域摆在研发团队面前的有两条技术方向：一是以传热学原理为基础的热式质量流量计，主要由欧美日的六七家公司占据全球绝大部分市场，是技术的主流，技术成熟度较高，但国内一直无法掌握热式传感器这一技术核心；另外一条是以“哈根泊肃叶定理”为基础的层流质量流量计，其 中核心的层流传感器研发由于技术难度更高，制造工艺复杂，让那些生产热式质量流量计的国际顶级厂商也望而却步。几十年来，全球范围内取得重大层流技术突破的只有一家美国公司，但离实现大规模商业应用还有不小的距离。
最终，考虑到热式技术已趋于成熟，发展空间趋于饱和，在充分调研后，这群80后“初生牛犊”选择了更加先进，拥有广阔技术发展空间，但技术门槛更高的层流质量流量计技术路线，开始专注于攻克核心技术——“通用型层流传感器”的研发。
独立自主：攻克核心
毫不夸张地说，一个国家微流体测控水平的高低，决定着一个国家制造业水平的高低。小微流量测控领域通常测量范围在0.0001ml/s~100000ml/s，跨度范围超过9个数量级，这相当于一秒内流过流量计的体积从一滴水的三百分之一到一桶石油之间都能实现精确测量，而完成每一次精确测量的时间要小于0.01s，并保证连续两次测量的相对误差小于千分之一，技术难度可想而知。
易度团队历时七年苦心孤诣的研究，从2013年第一款层流传感器原理验证机的诞生，到2014年第一代控制板原理验证机的研发，2015年底第一台层流质量流量计工程样机的研发成功，一直到2017年6月，第一代层流质量流量计的问世，并顺利通过了国家计量院的型式评价认证。这其中没有现成的经验可以借鉴，所有的工作都要从零开始，一遍一遍地设计，一次一次地试验，失败了，重新开始，重新改进，研发过程是痛苦的，但值得骄傲的是，易度团队坚持了下来，啃下了一个个硬骨头，并掌握了这项核心技术，成就了今天的产品。
目前该项技术已获国家发明专利(专利号:ZL 2015 1 0610447.5和ZL 2015 1 0610446.0)两项，同时在全球PCT检索中具有新颖性。在国内，也只有易度公司掌握了通用型层流测控技术，产品经过国家最高机构的验证，达到了世界顶尖水平。
永无止境：高效专注增添中国力量
易度仪器成功研发出的层流质量流量计和控制器，不仅能实现对气体和液体质量流量的测量，还能达到精准控制，是国内一款自主研发的层流原理数字化产品。经过无数次技术改进，产品正在日趋成熟，实现了在-20℃到70℃环境下的正常使用，精度控制在1.0级以内，重复性0.1%，响应时间达到0.01S。
聚焦用户过程控制，半导体300多项关键工艺中，有光刻工艺、气相沉积工艺、单晶生产工艺等超过70%的工艺项点都与微流量测量相关；石墨烯等新材料的生产制造过程中，常用的方法增强等离子的化学气相沉积，也需要精准地配给气体和液体；等离子体发动机作为未来航天发展方向，在生产制造工艺和地面测试环节，需要精确测量小于1ml/min的稀有气体的质量流量，这是等离子体发动机稳定工作的关键测试工艺。
近五年全球微流量测量领域业务每年以30%的速度迅猛增长，随着以芯片制造、生物医药、新材料、3D打印和微纳制造为代表的新兴制造业的迅猛发展，更加精细化的制造工艺对微流量测量控制仪器提出了更加苛刻的要求，在当前国家大力发展制造业的背景下，易度仪器有责任也有信心继续精钻技术，专注流体测控领域，解决微流量测控世界难题。
我公司自主研发的层流质量流量计和控制器系列产品，具有高精度、快响应、线性好、零漂小等特点，属于数字化产品，可与计算机相连，支持RS485数字信号，同时兼容4~20Ma,0~5V模拟信号输出，配备彩色LCD显示屏，多参数显示和输出：温度、压力、流量等，内置气压和温度(密度)补偿，可标定内置的多种气体和液体，所有操作均可通过触屏式操作实现，无需借助计算机或其他额外软件，广泛适用于多种流量测控场合。
2024年，陕西易度智能科技有限公司（简称“易度智能”）在质量流量控制器（简称“MFC”）方面又一次取得重大突破，其独立自主研发的质量流量控制器系列产品，已顺利通过欧洲CE（Conformité Européenne，欧洲合格评定）认证。
这也是易度智能继成功获得中华人民共和国计量器具型式批准证书（CPA认证：国内高认证）之后，获得的又一项国际认证。国内CPA认证和国际CE认证的双重认证，既标志着易度智能产品品质，也表明易度智能的产品，经得起国内外市场的各种严苛考验。
据悉，计量器具型式批准证书（简称型式批准证书）是由国家质量技术监督部门（或市场监督管理部门）颁发，具有高的公信力的行政许可证明。CPA标志是计量器具型式批准证书的专用标志，该证书是对企业生产能力和产品质量的认可，是计量器具质量和性能稳定的重要保证。
CE认证，全称“Conformité Européenne”，意为“欧洲合规性”，是欧盟采取的一项重要举措，旨在加强监管、保护消费者安全、环境与健康。CE认证标志着产品符合欧盟的安全、健康和环境保护要求，并获得了相应的认可。CE认证在国际上具有非常高的认可度，展现出更高的品质和合规性。
易度团队从2011年开始层流压差技术的研发，十余年来，专注于研发高精度层流质量流量计和控制器等产品，是国内通过中国计量科学研究院认证的层流质量流量计和控制器制造商，也是第二家有能力生产通用型层流质量流量计的高新技术企业。
为什么要发展层流压差式MFC？
在科技日新月异的今天，中国制造业正崛起，特别是在精密仪器与控制技术领域，但目前，在MFC领域，仍然被HORIBA、Brooks、Bronkhorst、MKS等国外厂商占据主导地位，而这些企业大多以热式原理的MFC进入市场，热式原理采用半经验公式，是通过上亿次的实验值作为参考得出的，想要精度更高，只有更多的实验积累才能提高精度。国外热式品牌精度比国内品牌好就在于公司成立时间早，实验数据积累更多。热式经过这么多年的发展已经接近工程技术的极限，很难有上升空间。
国内企业想要打破国际垄断，除了追赶原有厂商的技术水平之外，更需要以创新能力和坚实的产品质量来逐步打破僵局。而层流压差原理将逐渐成为未来的发展趋势，层流压差原理通过压差来测量流量，压差与流量成正比。影响精度的因素就在于传感器的分辨率与准确性。现在传感器的分辨率和准确性越来越好，层流压差原理的精度会更高，上升空间很大。
层流压差式MFC通过层流元件将气体流动状态规整为规则的层流，并利用压差传感器测量层流元件两端的压力差来计算气体流量。这种方法具有较高的测量精度，能够满足半导体、光伏、生物医药等高精度工艺对气体流量的精确控制需求。且层流压差式MFC能够测量从微小流量到大流量的气体，具有较宽的测量范围，适用于多种应用场景。同时，相比热式MFC，无旁通毛细管，流道口径大，不易堵塞，抗污染能力强。层流压差式流量控制器因其高精度、宽量程范围、高重复性、快速响应、耐腐蚀耐高压等优势，具备非常广阔的市场价值和战略意义。
因此，在国产化战略的今天，尤其是中美贸易战不断加剧的背景下，国产企业亟需加快技术自主可控的步伐。而推动国产层流压差式MFC的发展，不仅有助于技术自主可控和产业升级，还能保障信息安全、提升经济和社会效益，以及增强国际竞争力。
易度智能实力如何？
易度智能自创立之初便秉承着“仪器的一小步，文明的一大步”的创业初心，致力于层流压差式技术的研发，核心研发团队以西北工业大学数名博士后、博士、硕士生为核心，依靠研发团队航空字航专业背景，以流体力学、材料学、嵌入式硬软件开发等专业为基础，自主研发十余年，在层流压差式原理尤其是微流量测控领域拥有深厚技术积累，目前已取得20余项创新型专利技术，几十项国内外认证。多年来，公司坚持科学的研发规律，从一条公式开始，逐步研发出高性能产品。并取得了国内最高的技术认证（CPA），也是国内首家层流质量流量计和控制器制造商。
国内CPA认证和此次国际CE认证的双重认证，正是对易度智能技术性的高度认可，也是对公司持续创新能力与产品品质的最好证明。尤为值得一提的是，在严格的认证试验过程中，易度智能的MFC产品表现出色，不仅一次性通过所有测试环节，更在电磁兼容性（EMC）测试中展现出了惊人的稳定性。要知道，电磁兼容性测试是模拟复杂电磁环境下产品的表现，其中电击试验更是对设备耐受条件能力的极限挑战。然而，易度智能的MFC产品却能在这样的条件下依然保持性能稳定，未受丝毫损坏，这充分证明了其产品设计的严谨性、材料选用的优质性以及生产工艺的，也真正验证了客户口中易度产品“皮实可靠”的承诺。
易度EC系列明星产品陆续上市
易度智能质量流量控制器EC系列产品，作为公司自主研发的明星产品，集成了高精度传感技术、智能算法控制及人性化交互设计于一体，具备高稳定性、高可靠性、高重复性以及具性价比的特点。该产品能够实现对流体质量流量的精确测量与控制，广泛应用于环保、半导体、化工、氢能、光伏、真空镀膜、制药、食品等多个行业，为生产过程的精准控制和效率提升提供了有力保障。作为易度新品，刚上市便获得CE认证，接下来，易度将继续发布EC系列其他型号产品，继续以技术实力和坚实的产品质量回馈客户，并以此为新的起点，继续前行在MFC领域，为全球客户提供更加精准、可靠的智能控制解决方案，为中国制造业的崛起贡献一份绵薄之力。
未来，我们有理由相信，易度智能将继续秉持初心，砥砺前行，在MFC领域创造更多辉煌，为中国制造赢得更多国际赞誉。
