高精型气体层流质量流量控制器

——对控制精度、重复性有更高要求的行业配套客户优选

MC200高精型气体层流质量流量控制器与SC200系列控制器的区别在于没有触摸式显示屏，通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及核心算法，在低零点、温度、压力漂移量上表现出了杰出性能。坚固的金属外壳，使产品在工业复杂环境下确保耐用性和强抗电磁干扰性能，同时，内置多种气体和混气设置，数字式和模拟式的通讯方式，实现流量的精确测量和控制。

量程范围：0.5sccm~5000slpm

特征：

l 原理：层流压差式流量计

l 高精度：±0.5%设定值精度

l 高重复性：±0.1%F.S.

l 宽温度、宽压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内

l 标配：数字信号RS485，选配：模拟信号0-20mA或0~5V

l 内置49种气体和混气测量

l 提供上位机软件实时显示和下载数据信息

使用条件：

l 兼容内置的49种气体和可编辑的混合气体

l 阀门种类：N/C（常闭型）

l 工作流量范围：1%~120%F.S.

l 介质温度：-20℃~60℃

l 环境温度：-20℃~50℃

l 使用湿度：0%~98%（无冷凝）

l 工作压差范围：100kPa~700kPa

l 工作压力：1Mpa

l 耐压：1.5Mpa

l 供电电压：﹢（19~29）VDC

l 消耗电流：＜150mA (供电电压为24v时) ＜300mA（＜5V）

l 安装方式：任意角度

l 进出口：管螺纹（内螺纹）

l 接气部材质：SUS304，SUS316L

l 接气部密封材质：橡胶圈密封：氟橡胶

应用场景

l 光学、原子镀膜设备中的流控器件

l 制造设备中流控系统的集成和配套

l 精细化工生产线中的流控器件

l 生物反应器成套设备中的流控器件

l 配气系统或装置中的流控器件

l 分析仪器、科学仪器中的流控器件

l 定制化成套自动化设备中的流控器件

MC200高精型气体层流质量流量控制器适用于对精度、重复性要求更高的配套用户。