宽量程气体质量流量控制器

易度智能SC100-WR宽量程气体质量流量控制器在SC100标准型层流质量流量控制器的基础上提高2倍的可精确测量范围，实现在10%~100%的量程范围内达到1%设定值精度，并通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿核心算法，在低零点、温度、压力漂移量上表现出了杰出性能。同时，内置多种气体和混气设置，触屏式操作的自由切换，有效简化了系统的复杂度，减少客户采购成本，提高系统的稳定度。

特征：

l 原理：层流压差式原理

l 便捷操作：可触屏点击输入设定流量，或者提供上位机软件设定流量。

l 核心优势：高精度、高重复性、快速响应

l 宽温度、宽压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内

l 实时显示4种过程变量

l 内置49种气体，，一键自由切换气体，无需查找、输入系数，并可自主编辑混合气体

l 无需预热时间，开机即可使用，即插即用。

l 可切换为流量计模式使用

产品规格：

l 产品型号：SC100-WR

l 量程范围：0.5sccm~5000slpm

l 阀门种类：N/C（常闭型）

性能参数：

l 精度：SC100-WR：±1.0%S.P.(设定值)(10%～100%量程范围)   ±0.1%F.S.(满量程)(1%～10%量程范围)

l 重复精度：±0.2%F.S.

l 压力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100KPa(绝压))

l 温度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度20℃）

l 零点漂移：±0.2%F.S./年

l 工作范围：1%~100%F.S.

l 响应时间：≤700ms.

l 启动预热时间：1s

使用条件：

l 介质温度：-20℃~60℃

l 环境温度：-20℃~50℃

l 使用湿度：0%~98%（无冷凝）

l 工作压力：0~1Mpa

l 耐压：1.5Mpa

l 工作压差范围：100kPa~800kPa

l 供电电压：24V±20%

l 消耗电流：＜500mA （＜12V）

l 安装方式：任意角度

l 接气部材质：SUS304，SUS316L

l 进出口：管螺纹（内螺纹）

l 接气部密封材质：橡胶圈密封：氟橡胶

通讯方式：

l 数字信号：RS485，Profibus

l 模拟信号：4-20mA，0-5V

应用场景

l 标定台系统搭建中的流量控制设备

l 需要大范围调整流量的流控系统或设备集成

l 简化集成设备或对设备体积敏感的场景

l 需要调控比较大流量的实验研究场合

SC100-WR宽量程气体质量流量控制器在于精度保证范围更宽，适用于要求测控范围更宽，对配套设备体积敏感的场景。