混合气体质量流量计是一种精确测量气体流量的仪表，用于对于气体的质量流量进行精密丈量和控制；具有质量流量计的功能，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。而质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机连接自动控制的气体稳流装置。气体质量流量计(MassFlowMeter缩写为MFM)用于对于气体的质量流量进行精密丈量。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀...

使用流量计产品的用户会发现，不同厂家产品精度的名称有不同叫法，有精度、准确度、精度等级等，其实这都说的是产品精度。目前市场上流量仪表精度等级常见的有0.5级、1.0级、1.5级、2.5级等，级数越小，精度（准确度）就越高。如果两个流量计精度都是1.0%，那么两块仪表产品精度就是一样的吗？非也！那么区别在哪里呢？我们经常会看到精度数据后面会有RD、FS、SP这样的字母，区别就在这里。这些字母是什么意思？首先，我们先看产品精度公式：精度=(测量数据-标准值)/标准值*1（公式1）...