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7-25
在半导体制造的关键环节——金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)中,高温环境下的气体流量精准控制直接决定了薄膜的质量与器件的性能。传统热式质量流量控制器(MFC)在高温下常面临精度漂移、稳定性下降等挑战。此时,层流压差式质量流量控制器凭借其优势脱颖而出,成为MOCVD等高温工艺中气体精密输送的可靠保障。层流压差技术的核心优势:稳定、精准、可靠层流压差式MFC的核心原理在于利用气体在特定流道内形成的稳定层流状态。当气体流过精密设计的层流元件时,其前后产生的压差与质量流量呈高度...
7-24
在现代工业的精密舞台上,流量控制的响应速度往往决定着工艺成败。当传统流量计还在“追赶”流量变化时,易度层流压差式质量流量计控制器已如闪电般精准响应。这惊人的速度从何而来?其核心秘密,就藏在其工作原理与精巧设计之中。物理原理:天生的“快枪手”易度流量计的核心在于层流压差原理。它引导被测流体(气体或液体)通过内部精密的层流流道,使其处于高度有序的“分层流动”状态。压力波的速度是340m/s,传感器毫秒级采集,流量测量最快可达1ms,物理定律本身就建立了最直接的“流量-信号”映射。...
7-23
在航空发动机的研发过程中,精确测量气体流量是解锁其性能密码的关键环节。无论是核心机空气流量、燃烧室燃气流量,还是引气系统流量,传统测量手段在发动机复杂多变的工况面前常显乏力。层流压差质量流量计凭借其测量原理,正逐渐成为发动机试验台上的精密“听诊器”。试验台的核心挑战:动态、高温与精准航空发动机试验台模拟的是从地面启动到高空高速飞行的全包线工况。气体参数变化剧烈:温度可从常温跃升至近千摄氏度,压力波动范围极大,流速变化迅速。研发阶段的关键测试,如喘振边界探测、燃烧室效率标定、涡...
7-21
在精密制造与科研领域,气体流量的精准控制直接关系工艺质量和实验结果。陕西易度智能科技有限公司依托自主研发的层流压差技术,推出了SC、MC、EC及P系列质量流量计(MFM)和质量流量控制器(MFC),为我国半导体、新能源、生物制药等领域提供了高可靠性的气体测控解决方案。层流压差技术是易度智能产品的核心优势。其原理是通过层流元件将湍流气体转化为规则的层流状态,利用压差传感器测量层流元件两端的压力差,再结合内置的高精度温度与压力传感器实时补偿环境波动,直接将工况流量转化为标况质量流...
7-17
在与客户的交流中,易度经常收到这样的反馈:将不同品牌流量计串联测试时,发现两者的读数存在差异。这是否意味着某一台的精度不达标?答案并非如此简单。作为精密测量设备,流量计的读数差异往往由多种因素共同导致。本文将解析常见原因,帮助您科学理解对比测试结果。不同流量计读数差异的常见原因01:流量计自身误差叠加两台精度均为1%F.S.的流量计进行串联比对,最差情况下可能相差接近2%F.S.,会让人误以为其中一台精度超差了。02:气体类型不一致假如通入空气进行测试,但是两台流量计的气体类...
7-16
在现代工业生产与质量控制中,确保产品的密封性至关重要。无论是汽车零部件、空调制冷系统、医疗器械、包装容器还是高精尖的半导体设备,微小的泄漏都可能导致性能下降、安全隐患或产品失效。检漏仪作为检测密封性的关键设备,其核心传感器——流量计的性能直接决定了检漏的精度、速度和可靠性。层流压差式质量流量计凭借其工作原理和优异的性能,已成为高精度检漏仪的传感元件。核心原理:层流与压差的精确关联层流压差式质量流量计的核心在于其内部的层流元件(通常由大量细小、平行的通道构成)。当气体流经这些通...
7-16
在半导体制造、生物医药、环境监测等高精度工业场景中,气体切换的精准性与动态校准的实时性直接影响工艺稳定性与产品质量。智能国产质量流量控制器(MFC)通过集成气体数据库、自适应校准算法及高稳定性硬件设计,实现了多场景下的高效适配。以下从核心功能、技术实现及典型应用三方面展开分析。一、核心功能:气体切换与动态校准的底层支撑内置气体数据库与自动校准国产MFC(如易度智能MCF100系列)内置100+种气体参数库,覆盖常见工艺气体(如SiH₄、N₂、Cl₂等)。当气体种类切换时,设备...
7-16
在要求快速响应速度的工业领域,气体流量的瞬时精确掌控往往是核心挑战。陕西易度智能科技有限公司近期成功为某核工业企业定制开发了一款响应时间达到惊人1毫秒(ms)的层流压差式气体质量流量计,为核工业流程的高精度、高可靠性运行提供了关键保障。该流量计的核心突破在于将传统层流压差原理的响应性能推向了全新高度。它通过革命性的微流道设计与传感结构优化,将气体流经敏感元件并产生稳定压差信号的时间压缩至毫秒级。其内置的超高灵敏度微压差传感器与极低延迟的信号处理电路协同工作,能够瞬时捕捉气体流...