气体质量流量控制器是一种精确测量气体流量的仪表，是现代电子设备工艺气体流量控制的不可少的控制单元，它的原理和应用质量流量控制器用于对各种气体的质量流量进行精密测量和控制，大量用于电子工艺设备(如扩散、氧化、外延、CVD.等离子刻蚀、溅射等)以及镀膜设备、光导纤维制造中。它通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制器和分流器通道等组成。它的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源盒提供。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量流过气体的质量流量，具有温度、压力囱动补...

1：流量术语体积流量：也叫工况流量，即单位时间内实时温度和压力下流体流过管道横截面的体积。小流量的代表单位一般为：ml/min和L/min。标况流量：通过温度、压力补偿后得到的体积流量。标况一般定义（1）压力：1个大气压（101.325KPa）（2）温度：0℃/15℃/20℃/25℃，具体温度定义可自选。易度流量控制器默认(25℃,101.325KPa)，单位一般为：SCCM和SLPM。质量流量：单位时间内流体流过管道横截面的质量。易度质量流量控制器测量出的是标况流量，需要计...

气体质量流量计与质量流量控制器是指主要适用小微流量（从0.000001m³/小时到300m³/小时，对应管径从直径3mm到65mm）气体测量和控制的传感器和自动化设备。按原理分类主要有两种：1、层流压差原理的气体质量流量计与质量流量控制器；2、热式原理的气体质量流量计与气体质量流量控制器。层流压差原理图层流压差原理的质量流量计和流量控制器，因其原理特点，只需检测到气体压差、压力和温度，即可测控气体流量。易度自主设计的传感器可检测到极微小流量下产生的压力、压差，因此易度质量流量...

层流压差流量计是测控气体流量的仪表，是计量气体流量的计量器具。质量流量计(MFM)和控制器(MFC)使用前需要预热，这是热式原理MFM/FMC产品的一个特点。为什么呢？这是由热式原理测量方式所决定，其产品流道内需另外开一旁通微小的管道，通常叫毛细管，通过把毛细管加热到一定温度，再通过一定的公式来计算流量。刚开机的热式产品因为毛细管温度还未达到正常测量时需求的温度，所以需要在管道通气后先加热到预定温度，才可以准确测量，这个加热的过程就是预热的过程，时间通常为5~30分钟不等。从...

极微小流量控制器的特点是灵敏度高、一致性强、性能稳定、精度高，标准的精度误差为±3%（即100毫升里的误差在上下3毫升）定制精度在±2%。小型流量计分为霍尔式和光电式两种，霍尔流量计是由霍尔元件、磁铁组成的；光电流量计是利用光学原理检测，内部不含磁铁。需要注意的是：这两种流量计内部都有叶轮，所以不适合检测啤酒、气泡水类的液体，因为当液体进入流量计内部时，叶轮转动会产生很多气泡，导致流量计精度降低。其原理如下：在直径较细的感应管中放置两对加热器，并将...

质量流量计1什么是质量流量计：质量流量计，英文MassFlowMeter（简称MFM），用来快速、精确测量过程气体流量大小的精密传感器。这里讲的质量流量计主要应用于低压、小流量的单一或混合气体，低压一般在1Mpa以下，最大可达3Mpa；流量范围一般为：0.1sccm-5000slpm；单一气体如常见的空气、氦气、氩气等，要求相对干燥、纯净；混合气体则需明确气体种类和比例。2质量流量计可获得哪些参数：易度质量流流量计可精确获得气体的实时温度、压力、工况流量、标况流量和累计流量五...

多过程参数测量流量计使用单芯电缆测量，可同时测量磁定位、流量、温度、压力等四个参数，可按用户需求添加其他的测量参数。所谓多参数测量，即利用传感元件从被测对象按不同物理现象感受到一个以上变量，使流量传感（变送）器功能扩展。例如科里奥利质量流量计测量振动管频率相位差，得到质量流量；测振动管谐振频率得密度。或者在流量传感器加另一传感元件（或传感器）测量另一个变量，扩展功能或补偿另一个变量受其他量的影响，提高测量精度等性能。仪器组成：仪器包括地面和地下两个部分：1、地面为多参数直读流...

气体微流量丈量与操控一直以来是制造业的重要中心技术之一，而这一中心技术领域的中心传感器和操控零部件便是今日我们要集中评论的气体质量流量计与气体质量流量控制器。当然顾名思义是用来丈量和操控气体流量的。这儿的气体并不是指家里的天然气，或者传统能源与化工企业、发电厂等的用的气体，这些场景下丈量与操控的气体流量与对应的管径一般相对较大，气体流量大多在15m³/小时以上，而对应的管径从直径15mm到3000mm不等（乃至更大）。我们这儿评论的气体质量流量计与气体质量流量控制器指的是适用...