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在半导体制造领域,低压化学气相沉积技术是制备各种薄膜材料的关键工艺。这一过程对压力控制提出了高要求,任何微小的压力波动都可能直接影响薄膜厚度均匀性、致密性和结构完整性。陕西易度智能科技有限公司自主研发的层流压差式压力流量控制器,正是针对这一精密控制需求而设计的创新解决方案。LPCVD工艺对压力控制的严苛要求LPCVD工艺需要在低于大气压的环境中进行的特性,使得压力成为影响反应气体传输、表面反应速率和薄膜生长质量的关键参数。传统的压力控制方法往往难以同时满足稳定性、响应速度和精...
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在半导体芯片制造的精密世界中,特种工艺气体的精准控制直接决定着芯片的性能与良品率。长期以来,这一关键领域被国际品牌所垄断,如今,以陕西易度智能科技有限公司为代表的国产创新力量,通过自主研发的层流压差式质量流量计与质量流量控制器,正在打破这一局面,为中国半导体产业的自主可控提供关键技术支撑。精密掌控半导体制造的“气体脉搏”在半导体制造过程中,扩散、刻蚀、化学气相沉积等关键工艺都离不开特种气体的精准控制。易度智能针对半导体行业的高标准要求,专门建立了百级洁净间生产线,确保产品能够...
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在石油化工这一高度复杂且对精确度要求高的行业中,流量的准确测量直接关系到生产安全、能源效率与经济效益。传统的流量测量技术往往难以兼顾高精度与低干扰,尤其是在复杂多变的现场工况下。近年来,基于层流压差原理的便携式质量流量计,特别是易度P系列产品,以其高性能表现,正在为该领域的流量监测带来全新的解决方案。层流压差式质量流量计的核心优势在于其能够直接测量流体的质量流量,无需进行温度或压力的补偿计算,这极大简化了操作流程并提高了数据的可靠性。在石油化工厂中,天然气作为一种重要的能源与...
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在现代工业制造与科研领域,密封性测试是保障产品质量与安全的关键环节。无论是医疗用品中的输液袋和试剂瓶、燃料电池中的电池包与膜电极,还是各类电子产品的精密外壳,其密封性能的可靠性都直接关系到最终产品的功能与寿命。层流压差式质量流量控制器凭借其技术优势,在这些应用场景中展现出超高的性能,成为高精度密封检测的核心设备。在医疗用品制造行业中,输液袋和试剂瓶的密封完整性至关重要。这些容器一旦发生微泄漏,不仅会导致药液变质,还可能引发细菌污染,直接危及患者安全。传统的检测方法往往无法识别...
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在半导体制造领域,清洗工艺是确保芯片性能和可靠性的关键环节。其中,气体质量流量控制器(MFC)作为精密流体控制的核心设备,在清洗过程中发挥着不可替代的作用。层流压差式质量流量控制器凭借其高精度和稳定性,成为半导体清洗设备的技术方案。半导体清洗设备需去除晶圆表面的微粒、有机物和金属杂质,以避免后续工艺中的缺陷。等离子清洗是常用技术,通过激发工艺气体产生等离子体,实现表面清洁和改性。这一过程要求气体流量精确稳定,层流压差式质量流量控制器通过实时监测和调节气体流量,确保等离子体均匀...
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在高校、实验室、科研院所和各工业研发测试台等前沿科研领域中,流体的流量测量与控制往往是决定成败的关键。传统质量流量计在实际应用中存在几项明显弊端。通常需要较长的预热时间以达到热平衡状态,无法实现开机即用,工作效率较低。其次,传统质量流量计采用热扩散原理,其核心传感元件易受环境温度变化及气体特性影响,导致显著的零点漂移和量程漂移现象,需要频繁进行校准维护,售后维护成本高。更突出的是,其测量稳定性相对较差,长期使用过程中容易出现测量值波动,特别是应对压力、温度变化时表现更为敏感,...
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一、易度智能EC400系列核心优势高精度与高重复性精度:±0.5%设定值精度,满足半导体、生物制药等领域对流量控制的严苛要求。重复性:±0.1%F.S.,确保长期使用中数据稳定性,减少校准频率。响应时间:宽温度与压力范围介质温度:-20℃~60℃,适应低温制冷或高温加热场景。环境温度:-20℃~50℃,覆盖工业现场复杂环境。工作压力:0~1MPa,耐压1.5MPa,支持高压气体输送系统。多气体兼容性内置70+种气体数据库,包括N₂、O₂、Ar、H₂...
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在工业自动化和精密制造领域,空压机系统的气体流量测量与控制至关重要,直接影响着生产效率、能源消耗和产品质量。层流压差式质量流量控制器凭借其测量原理和性能,正在成为空压机流量测控领域的革新力量。层流压差技术的核心原理层流压差式质量流量控制器的核心基于流体力学中的层流现象。当气体流经精密设计的层流元件时,会被强制转化为规则的分层流动状态。在这种状态下,气体流经通道产生的压差与质量流量形成严格的线性关系。通过实时监测这一压差变化,并结合温度补偿算法,控制器能够直接计算出气体的真实质...